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真空箱式---检漏系统
概述
本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04mpa，对被检工件充注---气，应用真空箱法进行---质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的---气回收循环使用，后向工件内充入规定压力的sf6和氮气工作气体。
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把sf6电器设备内一定压力的sf6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用r22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的sf6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至sf6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。
性能特点
1、安全
★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，---系统本身运行安全---和被检工件的安全。
★ 真空箱门设安全光电保护装置，---操作者安全
★ ---气示踪安全。
★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀---系统安全。
2、高灵敏度
★ 检漏精度高。
★ 抑零功能，消除---本底影响。
真空系统检漏中不论是采用哪种气泡检漏法，应用中需要注意：
1、示漏气体的种类与压力会影响检测灵敏度。
2、充入气体的压力还要考虑被检件的机械强度。
3、被检件检测前需要进行充分的清洁，同时要在充好气后再放入液体中，防止堵塞漏孔。
4、区分虚漏与真漏，被检件放入液体中，其表面的吸附气体可能形成气泡，需要与漏孔形成的气泡加以区分，须将这些气泡抹掉后再进行观察。
5、观察时需要---光线充足，液体清澈透明（皂膜法时尤其要注意皂液的稀稠度，过稀易流动滴落导致漏检，过稠易堵塞透明度差或形成气泡造成误检），观察背景要暗；同时被检件要稳，距离水面要近，并---水面平静。
真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记，并复查确认进行焊补，如果采用氢气作为示漏气体，要---注意安全。
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---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，真空箱式---检漏设备定做，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，真空箱式---检漏设备价格，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，真空箱式---检漏设备，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，真空箱式---检漏设备厂家，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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