1设备的分子泵不启动
分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。
2设备的质谱室不能正常工作
质谱室主要是灯丝无---常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。
3前级机械泵工作不正常
主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷---法寻找漏点，更换密封件。
2 本底信号不稳定
1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有---气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。
2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有---的接地。
3）本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，被污染。
1.智能化：以往的---质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。
2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高：自动校准---峰，自动调节0点，量程自动转换，---质谱检漏仪，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，国产---质谱检漏仪，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。
4.全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，国产---质谱检漏仪价格，提供了有利条件。
5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，真空---质谱检漏仪生产厂家，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。
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