1设备的分子泵不启动
分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。
2设备的质谱室不能正常工作
质谱室主要是灯丝无---常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。
3前级机械泵工作不正常
主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。
---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，便携式---质谱检漏仪生产厂家，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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高压电器行业提出的<生产63kv及以上gcb与gis的---条件>提出了产品符合技术条件和安全性。高压开关设备使用sf6气体作为绝缘灭弧的介质，产品要求开关内部的sf6气体泄漏量要小，也就是要---的密封性。所以再生产过程中就要对部件以及出厂整机做检漏，高压电器采用的---质谱检漏仪的---质谱法比较方便，易操作，检漏效果也得到认同。
卤素检漏仪检漏是过去常用的方法，由于灵敏度低，难免发生泄漏和误检，使总装后的产品气密性达不到要求，---质谱检漏仪生产厂家，导致返工，不但浪费了人力物力，也耽搁了生产周期。由于采用了---质谱检漏仪弥补了传统检漏的不做，同时可以检漏漏点和漏率。
---质谱检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定的：
1.对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用---罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11pa.m3/s），然后对---罩冲---，同时观察漏率显示，一大增大，就说明工件不合格。
2.对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小---不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6mpa的纯---或---（含量30%）-氮混合气体，国产---质谱检漏仪生产厂家，然后放入检漏罐中。先用辅助抽空系统抽至5pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过值即为不合格。
3.对于分装或总装，真空---质谱检漏仪生产厂家，采用吸入法。被检工件冲入----氮混合气体，利用吸枪在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
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