四川真空---质谱检漏仪-科创真空产品-真空---质谱检漏仪公司

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    2020-8-20

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---质谱检漏仪进展集中体现如下方面

1.智能化:以往的---质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。

2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高:自动校准---峰,自动调节0点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜择功能,一个按钮即可完成全检漏过程。

4.全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,四川真空---质谱检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,真空---质谱检漏仪维修,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。

5.检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。











检漏仪的故障和处理

1设备的分子泵不启动

分子泵不启动,主要有检查供电和前级真空是否正常(较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动)。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。

2设备的质谱室不能正常工作

质谱室主要是灯丝无---常加电,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,若灯丝仍无法发射离子流,则需要更换离子源。

3前级机械泵工作不正常

主要经常观察泵油的颜色是否正常,粉尘的污染会使油色变黑,水汽会使油色呈现乳白色,都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动,过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作,使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。







---质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择

---质谱检漏仪厂家的---质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑:

(1)无害,不能对人体或环境造成伤害;

(2)轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;

(3)化学性质稳定,不会引起化学反应和易1燃易1爆;

(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。

氢和---都是比较理想的示踪气体,空气中的含量少,轻,运动速度快,分子直径小,真空---质谱检漏仪定制,同等条件下,直线运动距离长。在实际使用中,也相对比较容易获取,可以大量使用。由于he具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性,因此一般检漏都采用---气(he)作为示漏气体,但也有用氢气(h)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是---气。

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