




---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理,实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,国产---质谱检漏仪定做,泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后,由于---质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,真空---质谱检漏仪定做,可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。


采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气,当被检产品表面有漏孔时,---气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入---质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹---气,可以实现漏孔的准确定位; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的---气,可以实现被检产品总漏率的测量。
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