真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
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1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验；
2、对被检工件抽真空；
3、对被检工件充注---气；
4、真空箱法---质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格；
5、回收并循环使用---气；
6、如果---气浪费---，可以将使用过程中浓度不合格的---气进行提纯
7、plc控制，空调---检漏设备厂家，触摸屏操作，---检漏设备厂家，自动检测。
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真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：---气储存罐(高压罐)，---气回收取罐(低压罐)，真空---检漏设备厂家，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充---回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力，稳定，关闭v2
3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，充气柜---检漏设备厂家，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的---气回收，对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。
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