




---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,---检漏设备保养,---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离,空调---检漏设备保养,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到,单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。
---质谱检漏仪的示踪气体选用---气,是因为---气具有以下优良特性:
---气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果---气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的---气;
---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;
---离子荷质比小,易于进行质谱分析;
---气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;
---气---,不凝结,电池---检漏设备保养,极难容于水。
今天科创真空小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!


1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4),易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。

1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全
2、真空箱内---气本底抑零,---了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,真空箱式---检漏设备保养,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、---技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,---了系统的操作安全及---运行。
7、plc控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。
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