操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充---、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。工艺流程编辑a1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；b1：若a1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；b2：若a1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的---气本底抑零-----工件内充入---气-------真空模式，微漏检测；c1：若b2检测不通过，则系统报警-----循环检，冷凝器---检漏设备定做，小漏工件序号显示------检测程序中止；c2：若b2检测通过，真空箱内充入---，同时工件内---气回收-------真空箱开门，冷凝器---检漏设备保养，检测完成。
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真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
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---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到，冷凝器---检漏设备，单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。
---质谱检漏仪的示踪气体选用---气，是因为---气具有以下优良特性：
---气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果---气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的---气；
---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；
---离子荷质比小，易于进行质谱分析；
---气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；
---气---，不凝结，极难容于水。
今天科创真空小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！
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