---质谱检漏仪一般由质谱管，---检漏设备保养，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，真空箱式---检漏设备保养，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
科创真空生产、销售---检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。
真空箱式---检漏系统
概述
本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04mpa，真空---检漏设备保养，对被检工件充注---气，应用真空箱法进行---质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的---气回收循环使用，后向工件内充入规定压力的sf6和氮气工作气体。
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把sf6电器设备内一定压力的sf6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用r22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的sf6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至sf6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。
性能特点
1、安全
★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，---系统本身运行安全---和被检工件的安全。
★ 真空箱门设安全光电保护装置，---操作者安全
★ ---气示踪安全。
★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀---系统安全。
2、高灵敏度
★ 检漏精度高。
★ 抑零功能，消除---本底影响。
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)，汽车零部件---检漏设备保养， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也
就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4)，易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
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