---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，汽车零部件---检漏设备生产厂家，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)，汽车零部件---检漏设备， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也
就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4)，易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，汽车零部件---检漏设备厂家，容易发现，灵敏度高。
由于真空箱式---检漏系统是比较---设备，汽车零部件---检漏设备价格，所以需要用户进行验收，以免后期使用过程中产生问题，难以解决。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收，之后进行操作、维修等技术培训，验收合格后双方签字生效。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收，以免延期因保管出现的产品问题。需要注意系统调试需要用测试工件。
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