基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。
脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、---、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。
辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。
基地井整合了基板和真空密封颈，不锈钢真空腔体加工，用焊接接头取代一个真空密封件，不锈钢真空腔体加工，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。
钟形罩由圆柱形的主体和一个半球形或球形的端口组成。可选材料包括玻璃、金属和塑料。标准钟形罩的直径是12英寸，不锈钢真空腔体加工中心，14英寸，18英寸和24英寸。
真空腔体真空是指低于---压力的气体的给定空间，真空是相对于---压来说的，并非空间没有物质存在.
真空是物理学里面的一个概念，开始反映的是空无一物的状态.即真空并不是无物而是有实物粒子和虚粒子转化的，但整体对外是不显示物理属性的宏观总体.真空就像是一个能量海，不断振荡并且充满着---能量.
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真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面.在真空技术发展中，这四个方面的技术是相互促进的.
随着真空获得技术的发展，真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面.真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务.有些是利用这种环境制造产品或设备，如灯泡、电子管和等. 这些产品在使用期间始终保持真空，不锈钢真空腔体加工，而另一些则只是把真空当作生产中的一个步骤，产品在---环境下使用，如真空镀膜、真空干燥和真空浸渍等.
真空的应用范围极广，主要分为低真空、中真空、高真空和真空应用.
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