真空腔体是内部为真空状态的容器，很多---的技术工艺均需要在真空或惰性气体保护条件下完成，真空腔体是这些工艺过程中重要的基础设备.
根据真空度---真空被分为低真空（100000-100pa），中真空（100-0.1pa），高真空（0.1-10-5pa），铝材真空腔体加工，真空（10-5-10pa）。低真空主要应用于隔热及绝缘、金属熔炼脱气、无氧化加热、真空冷冻及干燥和低压风洞等;高真空主要应用于真空冶金、真空镀膜设备等领域;真空则偏向物理实验方向。
真空腔体的加热方式分为内加热和外加热两种，外加热是在腔体外部加热，依靠腔体壁将热量传导进来，通过热辐射传递热量;内加热是直接在真空腔体内部进行加热，相比内加热方式，不锈钢真空腔体加工，外加热有滞后性，且内加热方式的控温精度相对于外加热来说更，所以一般情况下我们会选择内加热方式.
加热器的选择也非常重要，一般选用安装方便的扣板式加热板进行内加热.扣板式加热板的表面是镜面的不锈钢板，在平整度上比直接由真空腔体壁抛光更有优势，更利于进行热辐射传导热量.
基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。
脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，真空腔体加工，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、---、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。
辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。
基地井整合了基板和真空密封颈，真空腔体加工，用焊接接头取代一个真空密封件，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。
钟形罩由圆柱形的主体和一个半球形或球形的端口组成。可选材料包括玻璃、金属和塑料。标准钟形罩的直径是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。
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