大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性---气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以---气经常被用来检漏。
其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测，通常为分子量较轻的气体，半导体---检漏服务，---气渗透漏孔，压缩机---检漏服务， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定，---检漏服务，通常为---气的，以---气为漏气体在欲侦测处到处喷---气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是---气检漏的原理。
这是常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷枪喷---，如图4 所示，如果被检器件某处有漏孔，当---喷到漏孔上时，---气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，---质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意:---气是较轻的惰性气体，在喷出后会自动上升，为了准确的在漏孔位置喷---，喷---时应自上而下，由近至远(相对检漏仪位置) ，密封焊接件---检漏服务，这是因为在喷下方时---气有可能被上方漏孔吸入，就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷---应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与---气源相连，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。
真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求---充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测标准有gb /t 15823-2009<---泄漏检验>，主要应用于结构简单、压力不是---高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
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