




---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,打开入口阀1、2,小型---质谱检漏仪,关闭抽空阀,---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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一,标准漏孔的自身要符合相关的要求。标准漏孔能自带第三方的检测---。例如,美国计量院nist;---计量院,或有---的检定机构;德国的dkd等。标准漏孔要通过有标准漏孔检定---的第三方,进行检定。以此来---标准漏孔本身没有问题。
二,标准漏孔要经常检定、校准。建议每年进行一次校准。尤其是年泄漏率大的标准漏孔,更是要注意,经常校准。如果发现异常,---质谱检漏仪,要用外置漏孔校准。


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1.采用便携式设计
2.设备外型美观小巧
3.采用液晶触摸屏设计
4.有通讯接口
5.可以方便地将检漏数据输出


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