1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光，是指在溶剂中利用电解作用，清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物，主要用于化学稳定性较高的合金部件，真空腔体加工报价，如不锈钢，耐热钢等.
3、蒸汽脱脂清洗
蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的，适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗，操作方法简单，可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为---的基片在擦洗或超声波清洗后，用蒸汽脱脂清洗可以实现---的清洗效果.
一般真空腔体内部是规则的长方体，用一面加热进行热辐射的方式热传导不能合理涵盖整个腔体的内部空间，所以效果不是很理想，.经过试验论证，采取在真空腔体内正上方、正下方、左侧面、右侧面各安装一套加热板加热的方法，采用面对面热辐射方式对腔体内部进行加热.
由于设备在真空状态下采用了上，下，真空腔体加工报价，左，右四面四路加热的方法，比单纯一路加热就要复杂多了，这也是温度控制的难点.因此采用pid来进行温度控制调节，控温热偶设置在腔体内部，卧式真空腔体加工报价，这样可以---地控制真空腔体内的温度.
真空腔体的加热方式分为内加热和外加热两种，外加热是在腔体外部加热，依靠腔体壁将热量传导进来，通过热辐射传递热量;内加热是直接在真空腔体内部进行加热，相比内加热方式，外加热有滞后性，且内加热方式的控温精度相对于外加热来说更，半导体真空腔体加工报价，所以一般情况下我们会选择内加热方式.
加热器的选择也非常重要，一般选用安装方便的扣板式加热板进行内加热.扣板式加热板的表面是镜面的不锈钢板，在平整度上比直接由真空腔体壁抛光更有优势，更利于进行热辐射传导热量.
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