大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性---气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以---气经常被用来检漏。
其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测，通常为分子量较轻的气体，---气渗透漏孔， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定，通常为---气的，以---气为漏气体在欲侦测处到处喷---气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是---气检漏的原理。
这是常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷枪喷---，如图4 所示，如果被检器件某处有漏孔，当---喷到漏孔上时，---气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，---检漏服务，---质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意:---气是较轻的惰性气体，在喷出后会自动上升，为了准确的在漏孔位置喷---，喷---时应自上而下，由近至远(相对检漏仪位置) ，这是因为在喷下方时---气有可能被上方漏孔吸入，阀门---检漏服务，就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷---应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
吸---法主要用于检查某些大型密封容器。如弹体、---、气罐、油罐等，先将容器抽真空，再给容器充入---气(为了节省用---量，可以用低浓度---气) ，槽车---检漏服务，在---质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管，橡皮管的前端有直径很小的毛细管，使毛细管在充了---的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动，如果该容器有漏隙，经漏隙渗出的---会被毛细管吸入，检漏仪就会响应。
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