采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个---压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有qj3123-2000<---质谱真空检漏方法>、gb /t 15823-2009<---泄漏检验>，高压开关---检漏服务，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
这是常用的一种方法，高压开关---检漏服务，一般用于检测体积相对较小的部件，杜瓦瓶---检漏服务，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷枪喷---，如图4 所示，如果被检器件某处有漏孔，当---喷到漏孔上时，---气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，---质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意:---气是较轻的惰性气体，在喷出后会自动上升，---检漏服务，为了准确的在漏孔位置喷---，喷---时应自上而下，由近至远(相对检漏仪位置) ，这是因为在喷下方时---气有可能被上方漏孔吸入，就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷---应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
试漏中的可检漏率与检漏气体的本底浓度关系甚大，尽管检漏仪只检测检漏气体的浓度变化， 高的本底浓度还趋于出现高的波动。如果在试漏后将检漏气体排放在试漏区内，那么在整个工作日内本底浓度将不断地增长。此外，在充注或排放中要---无气体溢出，并定期检查连接件是否有漏。
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