1. 腔室内尺寸：号宽1050x高200x深700mm 号宽1050x高380x深700mm；
2. ---真空度：2×10-5pa；
3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除---能，±3℃；
4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；
5. 观察窗：每一个箱室均配一个φ100观察窗，硅片除气装置多少钱，材质为石英玻璃，透光好；
6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；
7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，硅片除气装置，故障诊断，并停止设备运行的功能。
真空储存柜，包括柜体，一个或一个以上相互隔离的储存室和对应的柜门，真空泵，与真空泵连接的驱动装置，其特征在于还包括分配阀，该分配阀的阀体内设有主气道，一个或一个以上支气道，以及与各自配套的支气道连通的进气道，主气道与真空泵的进气口相连，在各支气道内均设有控制阀，在各进气道上均设有放气阀，硅片除气装置，各支气道通过各自的管路与对应的一个储存室相通，每个进气道与对应支气道的连接处位于对应的管路和控制阀之间.本实用新型具有结构较为简单，密封性好，能耗低的优点，---是适用于衣物，粮食，书籍等有防潮，防虫需要的物品.
1、首先把机台与真空泵管道接好；
2、接上与机台电源相符的空开或插座，请注意电源一定要相符；
3、打开电源开关，电源正常时，仪表通电正常显示，打开电源开关后 ，电源指示不亮， 检查电源故障；
4、打开计时器开关，计时器通电后请设定好需要计时单位及数据，时间达到后同时有报警功能，时间达到后需要报警功能，请打开报警开关，若不需要常关闭；（注：此时间控制抽真空，时间达到停止抽真空）。
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