真空除气装置，包括工作台，所述工作台上设有升降装置和电热辅助装置，工作台上设有移动装置，且移动装置具有可在工作台移动的物料盘，物料盘内设有阴极工件，电热辅助装置具有套设于阴极工件上的电热线圈.本实用新型的有益效果是:通过设置移动装置，能使滑块，物料盘和阴极工件左右移动，且在升降装置的配合作用下，达到使线圈升降且对待加热的工件自动化移动至电热线圈正下方，且使加热除气后的阴极工件移动至外部的目的，使该装置的自动化程度---提高.
本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方，环境温度是25℃~35℃，环境湿度是35%~65%的相对湿度；且要保持放置---期通风---的位置。使用前注意电压是否正确，仅适用机台上所标示之电压，硅片除气装置生产厂家，避免电过量，而使电线走火．请勿置于潮湿之场所，请勿直接用水冲洗，硅片除气装置，以防漏电；
请小心将物品放入机台，关上箱门，检查是否密闭。试验结速后，站侧面打开箱门，以免热气烫到---；
1、内胆材质为耐强酸强碱，受热无形变的镜面不锈钢板。
2、保温材质：为金刚高密度玻璃岩棉，隔热性好，限度地---温度保温性。
3、外材质：为钢板静电喷粉烤漆处理，电脑白颜色，美观大方，---好。
4、本设备采用的是真空检漏法，相较于压力检漏法更安全，结果也更直观。
5、倒钩式门锁，关门自动落锁，硅片除气装置，开启方便，密封性好。
6、密封材料为定制耐高温硅胶，长期使---，不龟裂 。
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