




真空储存柜的真空系统,包括有箱体,控制器,若干个腔室,光电开关,真空计,一,二高真空挡板阀和粗,精抽真空管路,粗,精抽真空管路一方面与每个腔室上的一,二高真空挡板阀之间分别对应连接有一,二抽气管路,另一方面分别对应连接有粗,精抽泵;控制器分别与光电开关,山东硅片除气装置,真空计,一,硅片除气装置生产厂家,二高真空挡板阀和粗,硅片除气装置公司,精抽泵电连接.本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求,避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费,满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求.
机台在工作时,禁止放置酒精、接着剂等具有挥发性之物品之酸性物品在机台内,硅片除气装置厂家,不要放入危险产品及易挥发有毒气体的产品。请勿在机台附近使用可燃性物品 ,防止意外发生;
本机器在做完试验后或工作后,一定要把试验室内的余物清除干净,以免下次试验及用机时给其它产品带来不利影响。要长期保持内外箱的洁净及干燥,同时断开主电源;
包括多个储物室、微控制器、真空泵、真空管道、排气阀、放气阀和真空测量装置,所述储物室通过真空管道、排气阀与真空泵相连接,所述微控制器通过控制信号控制真空泵和排气阀用以对所述储物室进行真空排气,所述真空测量装置用以测试储物室的真空度;所述多个储物室各自配置有放气阀,微控制器控制放气阀用以对储物室进行放气;所述储物室还设有真空室门传感器,用以产生真空室门开关信号,并将真空室门开关信号输出至微控制器,由微控制器根据开关信号控制真空泵对储物室进行真空排气。
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