真空储存柜的真空系统，包括有箱体，控制器，若干个腔室，光电开关，真空计，一，二高真空挡板阀和粗，精抽真空管路，粗，精抽真空管路一方面与每个腔室上的一，二高真空挡板阀之间分别对应连接有一，二抽气管路，另一方面分别对应连接有粗，精抽泵;控制器分别与光电开关，真空计，一，二高真空挡板阀和粗，精抽泵电连接.本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求.
旋转真空除气装置，包括旋转机体，硅片除气装置公司，旋转机体的轴线相对于水平面倾斜15゜—75゜.旋转机体与驱动装置连接.旋转机体在驱动装置的驱动下，绕旋转机体的轴芯旋转.旋转机体的下端为下柱体，上端为上柱体，中部为中间柱体.此三个柱体为一整体金属壳包围形成的三个圆柱组成部分.其内部是浇筑成形的为一整体的耐火材料内衬.在旋转机体的轴芯线上，分别在下柱体，中间柱体，硅片除气装置，上柱体的耐火材料内衬中设置金属液排出通道，精炼室，负压通道.此三者相互连通，其下端的排出通道通过精炼液导管与储液池的精炼液区连通;上端的负压通道与真空抽气通道相连通.本发明能够解决现有炉外真空精炼设备存在的不足。
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