硅片除气装置-科创真空-硅片除气装置

真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。具备以下主要功能：

1. 对储存箱室抽真空；

2. 控制储存箱室恒压稳定；

3. 具备加热烘烤功能；

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；

6. 具备自动和手动两种操作模式；

7. plc控制，触摸屏操作

高真空除气炉的特点

科创鼎新公司生产的高真空除气炉，真空度可---10-7pa，可用于半导体硅片的除气以及红外芯片、气密性封装、航空航天芯片等其他电子产品的封装。

高真空除气炉特点：　

　---真空度高；

　控温精度高；

　更高的升温速率；

　智能化；

　可真空去除产品空洞与气泡；

　降低产品的氧化性；

　提高工艺室的洁净度。