选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---；价格低。
质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体，主要原因如下：
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、---的小（相对分子为4），易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，---检漏设备，灵敏度高。
3、---是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，真空---检漏设备，使用安全。
4、在---两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与---相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找---峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的---离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能（如小、易通过漏孔）比---还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底---且波动大，以致灵敏度---降低，所以很少采用。
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---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，汽车零部件---检漏设备，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到，单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。
---质谱检漏仪的示踪气体选用---气，空调---检漏设备，是因为---气具有以下优良特性：
---气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果---气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的---气；
---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；
---离子荷质比小，易于进行质谱分析；
---气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；
---气---，不凝结，极难容于水。
今天科创真空小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过---质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易---，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
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