真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：---气储存罐(高压罐)，---气回收取罐(低压罐)，真空箱---检漏设备定做，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充---回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，真空箱---检漏设备保养，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力，稳定，关闭v2
3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的---气回收，对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。
本产品信息由科创真空提供，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，真空箱---检漏设备，科仪---竭诚为您服务！
真空箱---检漏，根据---检漏的基本检漏原理，真空箱---检漏设备价格，用---气作为示踪气体，在真空箱内将---气充入工件，然后通过---检漏仪能、迅速准确的判断工件的泄露情况。
基本技术参数编辑真空箱数量： 根据实际需要真空箱容积： 根据实际需要示漏---气压力：根据实际需要耐压试验压力：根据实际需要检漏生产节拍：根据实际需要---气回收率： ≧98%‘’
想了解更多关于---检漏设备的相关，请持续关注本公司。
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过---质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易---，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
北京科创真空(图)-真空箱---检漏设备保养-真空箱---检漏设备由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。北京科创鼎新真空技术有限公司是北京 昌平区 ,行业设备的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、---发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在科创真空---携全体员工热情欢迎---垂询洽谈，共创科创真空美好的未来。
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息，谢谢！
本文链接：https://tztz100000308506.zhaoshang100.com/zhaoshang/264830334.html
关键词：
滇公网安备 53011202000392号