




检漏灵敏度高,可以检漏到10-11pam3/s 数量级,仪器响应快,---分子在仪器高真空的环境中扩散的速度---;所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题,充气柜---检漏设备价格,同样在装备中也离不开检漏,弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到---质谱检漏仪,本文主要真对---质谱检漏仪原理及方法进行综述。

---罩法
在这种方法中,用塑料薄膜包裹被测容器,首先除去罩子中的空气,然后充入---气或---气混合气体,检漏仪与被测容器的内部连接,当检漏仪显示泄漏率时,指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值,充气柜---检漏设备,则每个泄漏率不超过标准值;如果总泄漏率超过标准值,检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔,充气柜---检漏设备维修,直至达到合格标准。

1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,充气柜---检漏设备,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4),易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。

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