专门设计的把---示踪气体进行检漏的质谱仪称为---质谱检漏仪。---质谱检漏仪的原理是，当一个带电质点（正离子）以一定速度v进入均匀磁场的分析器中后，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，蒸发器真空镀膜机检漏服务，它的运动轨迹为圆，不同质合比（m/e）的粒子在磁场中有相应的运动轨迹，这样，不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开，如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉，而在---粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成---离子流，并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时，---气进入检漏仪---质谱室中，使仪器发生灵敏的反应，产生检漏的作用。
由于空气中---气，---质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏---气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出---弱小的讯号，从而检出的漏孔；由于---气是惰性气体，具有分子小，轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用---质谱检漏仪技术（简称---检漏技术）日益受到重视。
---质谱检漏方法是基于---质谱检漏仪的---分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，---和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入---质谱泄漏检测器后，蒸发器真空镀膜机检漏服务费用，由于---质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中---的分压信号。 在获得---气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到---气的泄漏量。
1.---气分子量小，扩散性强、渗透率高，即可以通过较小的孔。
2.---气在空气中的体积含量约为5ppm，这说明正常空气环境中---气的含量很小，蒸发器真空镀膜机检漏服务，即---本底---。
3.---气是---无色无味的惰性气体，这就意味着，正常情况下其可以作为介质在所有的物体中存在，且不发生反应。
4.在质谱仪谱图中易于与其它物质区分。
5.综合以上几个特点，---气作为一种检漏的示踪气体，是较佳的选择。
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