---质谱检漏技术是在真空检漏技术领域里应用广泛的一种，这种检漏方法的优点是：检漏灵敏度高（可以检漏到10-12pa·m3/s数量级）、仪器响应快、操作简便、成本较低、用途广泛等，所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。
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---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，蒸发器镀膜机检漏服务，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，镀膜机检漏服务，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，空调镀膜机检漏服务，1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。
真空测试(由外向内)
---气生产厂家表示，在真空测试中，对于较大的体积，用单独的泵系统对器件进行抽真空，对于较小的体积，则在检测器内部进行抽真空。找到漏洞使用流量可调的喷雾探针将---气注入零件的泄漏部位。
压力测试(由内向外)
在压力测试中，零件用---气或---气和空气的混合物加压。找到漏洞使用连接到检漏仪入口的嗅探器探针扫描零件的潜在泄漏点。
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