上海硅片除气装置-科创真空公司-硅片除气装置多少钱

真空除气储存柜

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。

加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，硅片除气装置，各层之间采用99刚玉陶瓷，---体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310s）板材料，并且焊接多道加强筋以---不变形。

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸：号宽1050x高200x深700mm  号宽1050x高380x深700mm；

2. ---真空度：2×10-5pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除---能，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，硅片除气装置生产厂家，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。