现在真空设备的应用领域愈来愈广，很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题，这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题。这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不---的损失。有一台设备，工作时发生放电现象，经过对工作记录的分析和与操作者的交流，得出不同的结论，有人认为电源有问题，有人认为是装配过程的问题。，对设备进行了拆卸，重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机，下半部的产品明显好于上半部的，靶的外表看不出什么问题来，拿高斯计一试，上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路，换了磁环，产品上下一致的问题得到了解决。
1.真空阀门在旋转调整螺杆之前，应使阀进口压力降低到开启压力的 0.9以下，以防止旋转调整螺杆时阀瓣被带动旋转，以致损伤密封面。
2.安全阀出厂前，应逐台调整其开启压力到用户要求的整定值。若用户提出弹簧工作压力级，则一般应按压力级的下限值调整出厂。
3.使用者在将安全阀安装到被保护设备上之前或者在安装之前，须在安装现场重新进行调整，以---安全阀的整定压力值符合要求。
4.为---开启真空阀门中压力值准确，应使调整时的介质条件，如介质种类、温度等尽可能接近实际运行条件。介质种类改变，---是当介质聚积态不同时(例如从液相变为气相)，开启压力常有所变化。工作温度升高时，铝材真空腔体加工，开启压力一般有所降低。故在常温下调整而用于高温时，常温下的整定压力值应略高于要求的开启压力值。高到什么程度与阀门结构和材质选用都有关系，应以制造厂的说明为根据。
小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如或---，用向的地方喷射或---，喷到漏点时，铝材真空腔体加工，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了，也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，再喷射。好是反复几次，铝材真空腔体加工价格，确认漏点。zhc一1仪表也可以用上述方法来检漏，不同的是zhc．1仪表能在旋片泵工作范围内进行检漏，而且不怕暴露于---中。
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