有一台离子渗氮炉，工作一段时间后出了问题，设备没动，不锈钢真空腔体加工，操作工艺没变，不锈钢真空腔体加工公司，就是工件不能进行离子渗氮。用户和厂家查不出问题的所在，感到困惑。经过试验和查找，不锈钢真空腔体加工多少钱，确定是配套的供气管路出了问题。用户用的是氧气管，用户认为氧气管耐正压没问题，耐负压也一定没问题；其实不然。换管后问题解决了。我们建议国内生产企业在生产主机的同时为用户提供相应的配套装置。有时配套装置出的问题会影响主机。
维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。
用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，不锈钢真空腔体加工，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏，现在已经生产zhc．1型仪表。该检漏仪表用zj．2电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话，可以检测到l0p的漏率。
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