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检漏灵敏度高,可以检漏到10-11pam3/s 数量级,仪器响应快,---分子在仪器高真空的环境中扩散的速度---;所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题,同样在装备中也离不开检漏,弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到---质谱检漏仪,本文主要真对---质谱检漏仪原理及方法进行综述。
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
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