北京科创真空-半导体---检漏-半导体---检漏生产厂家

---质谱检漏原理

---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，半导体---检漏报价，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，半导体---检漏公司，---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，半导体---检漏，---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到，单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

---质谱检漏仪的示踪气体选用---气，是因为---气具有以下优良特性：

---气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果---气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的---气；

---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

---离子荷质比小，易于进行质谱分析；

---气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

---气---，不凝结，极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！

---质谱检漏仪

充---法

的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，半导体---检漏，利用环模设备的真空系统将环模---真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道---真空后，将---气充入中，压力保持和工作的压力一致，开启---质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，就可以直接测量的漏率了。

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