流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有：磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动，卧式真空腔体加工价格，使携带磨粒的液体介---速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力---过性好的特殊化合物（聚合物状物质）并掺上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。
真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。
真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和真空系统中，应用较广。
为了减小腔体内壁的表面积，真空腔体加工价格，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。真空系统的腔体，真空腔体加工价格，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
机械抛光机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法，一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等，以手工操作为主，特殊零件如回转体表面，可使用转台等---，表面要求高的可采用超精研抛的方法。超精研抛是采用的磨具，在含有磨料的研抛液中，紧压在工件被加工表面上，作高速旋转运动。利用该技术可以达到表面粗糙度ra0.008μm，是各种抛光方法中高的，光学镜片模具常采用这种方法。
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