航天航空、集成电路、粒子、高速列车、核聚变等技术领域的快速发展，对真空腔体的性能要求提升到一个新的高度。真空腔体需要满足复杂结构造型，高、低温循环，压、高真空循环，低泄漏、超洁净，辐照损伤，高温烧蚀，大型真空腔体加工，砂砾侵蚀，化学腐蚀等应用条件。天和空间站迎来了高速建设阶段，---长期在轨停留反映了空间技术的快速发展。但是，在现有工业体系下，半导体真空腔体加工，空间站的服役水平难以实现跨越式发展，需要加强科技力量投入，取得颠覆性技术成果。
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，卧式真空腔体加工，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间.
真空系统中有运动传递的地方会采用动密封，真空腔体加工，这些动密封结构，很有可能在静态的时候密封---而运动的时候产生泄漏；比如采用橡胶轴封做动密封（阀杆与阀体之间）的阀门，就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高，不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态，这种动态泄漏很难被发现。
对于非常关键的工艺，选择波纹管密封的阀门可以---减小出现动态泄漏的概率；如果选用的还是轴封做密封的阀门，在检漏时
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