




1、加热区尺寸:定制
2、加热功率:30-80 kw(实际功率可调)
3、加热元件:钼片
4、隔热组件:钼+不锈钢
5、温度测量:s型热电偶
6、控温精度:±1℃
7、升温速率 :由室温升至1000℃小于80min(空载)
8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,---体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310s)板材料,并且焊接多道加强筋以---不变形。
9、加热控制:采用pid智能控温模块设计,可编辑30+段升温曲线,存贮20+组工艺配方,组合plc等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能---,稳定性好等特点。
本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方,环境温度是5-35℃,环境湿度是35%~65%的相对湿度;且要保持放置---期通风---的位置。使用前注意电压是否正确,河北硅片除气装置,仅适用机台上所标示之电压,避免电过量,而使电线走火.请勿置于潮湿之场所,请勿直接用水冲洗,以防漏电;
请小心将物品放入机台,关上箱门,检查是否密闭。试验结速后,硅片除气装置品牌,站侧面打开箱门,以免热气烫到---。
保修期满后,供方将以优惠价格向用户提供备品备件,硅片除气装置价格,并对设备提供有偿技术和维修服务;
设备安装调试时,对用户进行技术培训,培训内容包括设备的工作原理、操作、安全、维修、质控等。
设备日常维护包括真空泵的油位检查、电机有无异响、电压电流是否正常、水冷机制冷与流量是否存在异常。真空室内保持清洁,不得有灰尘、异物或者溅入液体以及腐蚀性物质。应当定期对箱室清洁,可以进行酒精擦拭、氮气吹扫等。
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