1、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，塔式真空负压站，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，真空负压站，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成份，移动式真空负压站，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽，颗粒、及腐蚀性气体，小型真空负压站，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强的要求，如：真空镀膜要1x10-5mmhg的真空度 ，选用的真空泵的真空度至少要5x10-5mmhg.通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、真空泵的价格、运转及维修费用。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
1、泵内的结构间隙变大。这是由于长期的抽的气体内含有粉尘小颗粒等，造成旋片和转子子之间磨损后的间隙增大。
解决方法：检查间隙是否过大，更换新的转子或旋片。关键是在进气口前安装过滤器过滤网等。
2、真空负压站用油的型号和之前的不一样。因为不同的油型号粘稠度，浓度都不一样，油内的饱和蒸汽压不一样，所以效果是不一样的。
解决方法：根据产品的型号规格选择正确的新真空泵油。
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