




1、炉型结构:卧式与立式,硅片除气装置厂家,单室与双室或多室,炉体炉门采用双层水冷,前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。
2、---温度:1500℃
3、工作区尺寸:按照用户需求定制
4、设备总功率:20-100 kw(含加热系统、真空机组、制冷机)
5、电源频率:50hz
6、电源电压:三相380 v(±10v)
1、真空除气装置,真空除气炉报价,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,天津硅片除气装置,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,硅片除气装置,达到设定真空度时,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)
2、真空度设定操作见操作说明书,用不到的功能禁止调整。
3、试验时间完成后,自动破空,破空完成后,方可开门取出产品。
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,硅片除气装置多少钱,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:
1. 对储存箱室抽真空;
2. 控制储存箱室恒压稳定;
3. 具备加热烘烤功能;
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;
6. 具备自动和手动两种操作模式;
7. plc控制,触摸屏操作
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