




1、加热区尺寸:定制
2、加热功率:30-80 kw(实际功率可调)
3、加热元件:钼片
4、隔热组件:钼+不锈钢
5、温度测量:s型热电偶
6、控温精度:±1℃
7、升温速率 :由室温升至1000℃小于80min(空载)
8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,天津硅片除气装置,各层之间采用99刚玉陶瓷,---体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310s)板材料,并且焊接多道加强筋以---不变形。
9、加热控制:采用pid智能控温模块设计,可编辑30+段升温曲线,存贮20+组工艺配方,组合plc等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,硅片除气装置公司,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能---,稳定性好等特点。
设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。
设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括:(1)在正常情况下,在保修期间内非人为因素引起的一切设备问题和自然磨损;(2)备品备件清单,供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。(3)在保修期内由需方使用不当造成的维修,只收需方的材料费。
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,硅片除气装置多少钱,均可独立工作。
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