




逆流---质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如,阀门---检漏系统价格,多级油扩散泵对---气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4~106。检漏时,通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的---气,仍有部分返流到质谱室中去,阀门---检漏系统,并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流---顷质谱检漏仪的工作原理。
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机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充---气回收单元、检漏单元、清---单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,---了---的本底和ji少的藏气,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充---气回收单元
充---气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充---气和---气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式---检漏系统机械系统部分的---检漏单元,---质谱检漏仪采用进口产品,自动校准漏孔。技术成熟,性能稳定,阀门---检漏系统公司,安装维护方便,使其和真空箱连接协调紧密。
---质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lo-9~10-12pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声---减小.其灵敏度可达10-14~10-15pam3/s,适用于真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流---质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12pam3/s。
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