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真空箱式---检漏系统

以下是科创真空为您一起分享的内容，锐诚真空公司生产销售---检漏设备，欢迎新老客户莅临。

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充---气回收单元、检漏单元、清---单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，---了---的本底和ji少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充---气回收单元

充---气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充---气和---气回收等处理。

1.3 检漏单元

真空箱式---检漏系统机械系统部分的---检漏单元，---质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，河北---检漏仪，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接协调紧密。

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，冷凝器---检漏仪价格，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，冷凝器---检漏仪公司，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过---质谱检漏后，冷凝器---检漏仪厂家，在低漏率真空条件下，这些气体不易---，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和---环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。