




真空除气存储柜、真空除气炉的控制操作可以选择手动与自动两种模式。
该设备有两种工艺流程:常温保压工艺与加热除气工艺。用户可根据实际情况需要,在设备上设定需要的执行功能与详细的目标参数。当用户设定参数之后,系统即按照用户的设定参数默认执行。
设备具有---的智能化,当用户设定的参数目标值存在错误或逻辑冲突时,系统会及时提醒并不能按照错误的数据启动运行设备。并可以提供20+组不同的参数组,供客户选择和修改。并且具备工艺记忆功能,硅片除气装置,方便客户的使用。
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。
加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,---体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310s)板材料,硅片除气装置品牌,并且焊接多道加强筋以---不变形。
保修期满后,硅片除气装置价格,供方将以优惠价格向用户提供备品备件,硅片除气装置,并对设备提供有偿技术和维修服务;
设备安装调试时,对用户进行技术培训,培训内容包括设备的工作原理、操作、安全、维修、质控等。
设备日常维护包括真空泵的油位检查、电机有无异响、电压电流是否正常、水冷机制冷与流量是否存在异常。真空室内保持清洁,不得有灰尘、异物或者溅入液体以及腐蚀性物质。应当定期对箱室清洁,可以进行酒精擦拭、氮气吹扫等。
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