




科创鼎新公司生产的高真空除气炉,真空度可---10-7pa,真空储存柜,可用于半导体硅片的除气以及红外芯片、气密性封装、航空航天芯片等其他电子产品的封装。
高真空除气炉特点:
---真空度高;
控温精度高;
更高的升温速率;
智能化;
可真空去除产品空洞与气泡;
降低产品的氧化性;
提高工艺室的洁净度。
1. 腔室内尺寸:号宽1050x高200x深700mm 号宽1050x高380x深700mm;
2. ---真空度:2×10-5pa;
3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除---能,±3℃;
4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;
5. 观察窗:每一个箱室均配一个φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;
6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,真空储存柜生产厂家,可手动独立控制工作;
7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。
1、加热区尺寸:定制
2、加热功率:30-80 kw(实际功率可调)
3、加热元件:钼片
4、隔热组件:钼+不锈钢
5、温度测量:s型热电偶
6、控温精度:±1℃
7、升温速率 :由室温升至1000℃小于80min(空载)
8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,---体为钼片,北京真空储存柜,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310s)板材料,并且焊接多道加强筋以---不变形。
9、加热控制:采用pid智能控温模块设计,可编辑30+段升温曲线,存贮20+组工艺配方,组合plc等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,真空储存柜价格,具有操作方便,功能---,稳定性好等特点。
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