半导体---检漏系统-科创真空产品-半导体---检漏系统

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    2023-4-28

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---气

---气的化学性质相对来说比较稳定。不易发生反应、等,操作过程安全。在一些比较值钱的设备:例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用---气检漏。---气稳定。当然也可用氢气检漏,但是氢气,容易引发事故,用氢气检测严禁---,远离烟火。但用---气检漏成本较贵,单瓶1000元左右。

---气穿透能力强,且易,对漏点有---的检出能力,可让细微小洞无处可逃。---气检漏就是采用---气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为---原子的尺寸很小。用---气穿过小洞而进入到管壳内部,---气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞,灵敏度可与性检漏方法---,但要比性检漏方法简便。




半导体设备及材料需要检漏原因


1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,半导体---检漏系统报价,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,半导体---检漏系统,经过---质谱检漏后,半导体---检漏系统,在低漏率真空条件下,这些气体不易---,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和---环境。

4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。





逆流---质谱检漏仪

逆流---质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如,多级油扩散泵对---气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4~106。检漏时,通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的---气,仍有部分返流到质谱室中去,并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流---顷质谱检漏仪的工作原理。





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