1、泵内的结构间隙变大。这是由于长期的抽的气体内含有粉尘小颗粒等，造成旋片和转子子之间磨损后的间隙增大。
解决方法：检查间隙是否过大，更换新的转子或旋片。关键是在进气口前安装过滤器过滤网等。
2、真空负压站用油的型号和之前的不一样。因为不同的油型号粘稠度，浓度都不一样，油内的饱和蒸汽压不一样，所以效果是不一样的。
解决方法：根据产品的型号规格选择正确的新真空泵油。
正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气，需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有---的抽速，移动式真空负压站品牌，但是不能进行抽---，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速两组合起来，则会使真空装置得到相应的真空度。
真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时，应该选用各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染的措施。
1、内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。先把内壁清理干净，移动式真空负压站，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。
2、小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如或---，移动式真空负压站生产厂家，用向的地方喷射或---，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了--也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。反复几次，天津移动式真空负压站，确认漏点。
3、较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。
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