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大的泄漏通常会非常明显:真空腔体压力未按正常速度下降,或者---压力明显高于正常值。然而,有些时候,由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载,小的泄漏很难被发现,这时,即使真空计的读数仍然在正常的水平,泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体(如氧气),这些气体有时候会对工艺过程(比如某些镀膜工艺)带来非常---的影响。所以,无论真空系统的压力是否有明显下降,都应该定期进行泄漏检测。
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