




真空系统检漏中不论是采用哪种气泡检漏法,应用中需要注意:
1、示漏气体的种类与压力会影响检测灵敏度。
2、充入气体的压力还要考虑被检件的机械强度。
3、被检件检测前需要进行充分的清洁,同时要在充好气后再放入液体中,防止堵塞漏孔。
4、区分虚漏与真漏,被检件放入液体中,其表面的吸附气体可能形成气泡,需要与漏孔形成的气泡加以区分,须将这些气泡抹掉后再进行观察。
5、观察时需要---光线充足,液体清澈透明(皂膜法时尤其要注意皂液的稀稠度,过稀易流动滴落导致漏检,过稠易堵塞透明度差或形成气泡造成误检),观察背景要暗;同时被检件要稳,距离水面要近,并---水面平静。
真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记,油箱---检漏系统生产厂家,并复查确认进行焊补,如果采用氢气作为示漏气体,要---注意安全。
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---质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lo-9~10-12pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声---减小.其灵敏度可达10-14~10-15pam3/s,适用于真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流---质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12pam3/s。
1、半导体设备要求高真空,电力开关真空箱---检漏系统生产厂家,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过---质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易---,---检漏系统生产厂家,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
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