采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的准确定位; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。
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---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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高压电器行业提出的<生产63kv及以上gcb与gis的---条件>提出了产品符合技术条件和安全性。高压开关设备使用sf6气体作为绝缘灭弧的介质，产品要求开关内部的sf6气体泄漏量要小，也就是要---的密封性。所以再生产过程中就要对部件以及出厂整机做检漏，高压电器采用的---质谱检漏仪的---质谱法比较方便，易操作，检漏效果也得到认同。
卤素检漏仪检漏是过去常用的方法，由于灵敏度低，难免发生泄漏和误检，使总装后的产品气密性达不到要求，导致返工，不但浪费了人力物力，也耽搁了生产周期。由于采用了---质谱检漏仪弥补了传统检漏的不做，同时可以检漏漏点和漏率。
---质谱检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定的：
1.对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，便携式---质谱检漏仪，采用---罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11pa.m3/s），然后对---罩冲---，同时观察漏率显示，一大增大，就说明工件不合格。
2.对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小---不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6mpa的纯---或---（含量30%）-氮混合气体，便携式---质谱检漏仪生产厂家，然后放入检漏罐中。先用辅助抽空系统抽至5pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过值即为不合格。
3.对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入----氮混合气体，利用吸在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
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