科创真空产品-天津硅片除气装置-硅片除气装置厂家

真空除气炉的构成介绍

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。

真空箱：采用304不锈钢材质制造，硅片除气装置多少钱，分为上中下三个独立的真空箱室，其内表面在加工后经除油、电抛光处理，---了较少的藏气，天津硅片除气装置，提高了真空箱室的抽空效率和---真空。真空箱室外部有加强筋，---真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个φ100石英观察窗，真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接，硅片除气装置，方便快捷，并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门，氟胶圈型式密封，向右侧侧开门。

真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，硅片除气装置品牌，分为上中下三层箱室，均可独立工作。具备以下主要功能：

1. 对储存箱室抽真空；

2. 控制储存箱室恒压稳定；

3. 具备加热烘烤功能；

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；

6. 具备自动和手动两种操作模式；

7. plc控制，触摸屏操作