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真空腔体——实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、---压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有---了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊---侧断续焊）等等。

真空腔体加工的注意事项

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。

真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和真空系统中，应用较广。

为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。

真空腔体

维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，大型真空腔体加工厂家，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，真空腔体加工厂家，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，卧式真空腔体加工厂家，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。

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