




---质谱检漏技术是在真空检漏技术领域里应用广泛的一种,这种检漏方法的优点是:检漏灵敏度高(可以检漏到10-12pa·m3/s数量级)、仪器响应快、操作简便、成本较低、用途广泛等,所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。
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质谱室
形象的说,质谱室是---质谱检漏的---,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01pa的真空度,同时------离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是---的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,该阀全开时检漏灵敏度高,因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。
电气系统
---质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,---面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在---质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、---检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的---影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常---的。
标准漏孔
使用---质谱仪的时候是否---质谱仪能通过自检,那就认为这台---质谱检漏仪是正常的呢?其实不然,---质谱仪能通过自检,只是说明,---质谱仪本身基本没有问题。但是,---质谱仪是否准确?这个不确定。

专门设计的把---示踪气体进行检漏的质谱仪称为---质谱检漏仪。---质谱检漏仪的原理是,当一个带电质点(正离子)以一定速度v进入均匀磁场的分析器中后,如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直,它的运动轨迹为圆,不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹,这样,---检漏多少钱,不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开,如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉,而在---粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成---离子流,并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时,---气进入检漏仪---质谱室中,半导体---检漏多少钱,使仪器发生灵敏的反应,产生检漏的作用。
由于空气中---气,---质谱仪的本底电流及噪音也很少,因此可将示漏---气的信号尽量放大而不怕空气的影响,这样可以测出---弱小的讯号,杜瓦瓶---检漏多少钱,从而检出的漏孔;由于---气是惰性气体,具有分子小,轻,油箱---检漏多少钱,扩散快,穿透性强,响应快且稳定,加之不起化学作用,不污染工件,操作安全等特点,导致使用---质谱检漏仪技术(简称---检漏技术)日益受到重视。

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